根據(jù)基本原理干式真空泵可分為兩類：一類是體積式真空泵，如爪式泵、羅茨泵、螺桿泵、往復式活塞式干泵、隔膜泵、渦旋泵等。

　　不同類型的真空泵有不同的性能參數(shù)和適用場合。例如，無油隔膜泵主要用于實驗室。

　　石化裝置干式真空泵主要是爪式真空泵和螺桿式真空泵。此外，由于羅茨泵在低壓下的時候壓縮較高，通常作為爪式真空泵的前泵形成羅茨爪式真空泵，與純爪式真空泵相比，可有效提高低壓下的真空泵速率。

　　在半導體產(chǎn)品的制造過程中，所需要的真空系統(tǒng)需要具有去除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等這些功能。因此，油封機械泵不能滿足半導體行業(yè)的需要。在半導體行業(yè)的驅動下，干式真空泵出現(xiàn)于20世紀80年代。由于目前下游集成電路、光伏、LED等這些行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展和進步，干式真空泵的產(chǎn)品類型也不斷增加，性能、控制集成度等指標參數(shù)也有比較明顯的提高。截至目前，干式真空泵已用于發(fā)達國家的半導體相關行業(yè)。近年來，我國也出現(xiàn)了干式真空泵取代油泵的明顯趨勢。干式真空泵已基本用于國內高端半導體行業(yè)。

　　干式真空泵工作時，無摩擦，運行平穩(wěn)，噪音低，工作室無潤滑油。因此，干式真空泵可以去除大量的水蒸氣和少量的灰塵。由于螺桿形成了螺距結構，與等螺距結構相比，極限真空更高，功耗更低，具有節(jié)能、免維護等優(yōu)點。是油封真空泵的更新產(chǎn)品。

　　除了半導體行業(yè)之外，制藥、化工、食品行業(yè)對真空泵的需求量也是比較大的，在過去的時候很多行業(yè)使用油封機械泵會產(chǎn)生油污染。近年來，國家高度重視環(huán)境保護，因為使用干式真空泵可以在工作中減少油污染，而且使用干式真空泵還可以實現(xiàn)溶解媒體的回收，提高利用率，因此制藥、化工、食品等行業(yè)，用干式真空泵來取代原油封機械泵，這些行業(yè)對干式真空泵有大量新的需求。

　　干式真空泵是未來行業(yè)發(fā)展的趨勢。雖然目前使用不多，但除了價格高之外，用戶對干式真空泵了解不夠，看不到未來給企業(yè)帶來的經(jīng)濟效益。然而，干式真空泵使工作容量無油，帶來了很多好處。

　　以上是淄博沃德氣體設備有限公司小編整理的干式真空泵的工作原理與目前的市場前景的相關內容，希望對您有所幫助，淄博沃德期待您的來電與合作。