干式真空泵（也稱干式機(jī)械泵）是指泵在正常壓力下可啟動抽氣，可將吸入的氣體直接排入大氣腔，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，壓力等于或接近油封真空泵的機(jī)械真空泵。

　　截止2013年，真空行業(yè)應(yīng)用的干式真空泵大部分選用油、水或別的高聚物等原材料原料做為泵的工作媒介，在泵內(nèi)具備生產(chǎn)制冷、密封性、潤滑油等多種多樣作用。伴隨著科學(xué)研究的發(fā)展趨勢和真空應(yīng)用行業(yè)的擴(kuò)張，原來的機(jī)械裝置真空泵及其排風(fēng)系統(tǒng)軟件有二種急需解決的難題：一是泵的工作媒介反流，污染被抽容器，而這類反流在許多狀況下，會危害商品的品質(zhì)和總數(shù)，提升機(jī)器設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)成本費(fèi)。次之，真空泵中的媒介因?yàn)橐恍┤�過程中的反應(yīng)物而比較嚴(yán)重變質(zhì)，使泵沒法正常工作。

　　對于一般的無油真空系統(tǒng)來說，不能完全解決問題，使系統(tǒng)變得復(fù)雜，盡管油封真空泵和冷卻陷阱或吸附陷阱等附件可以用來防止回流。使用適當(dāng)類型的干式真空泵可以達(dá)到預(yù)期的效果。

　　干式真空泵應(yīng)用廣泛，主要表現(xiàn)在以下幾個方面：

　　1、多晶硅制備工藝的低壓化學(xué)氣相沉積；

　　2、半導(dǎo)體蝕刻工藝。干式真空泵或產(chǎn)生腐蝕性氣體和磨料顆粒常用于這些生產(chǎn)過程；

　　3、半導(dǎo)體工藝之外的一些會產(chǎn)生顆粒的工藝，預(yù)計顆粒不會混入干式真空泵的泵油中，有望排出泵內(nèi)顆粒，部分干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；

　　4、干式真空泵應(yīng)用于化工、醫(yī)藥、食品等行業(yè)的蒸餾、干燥、脫氣、包裝、醫(yī)藥、食品等行業(yè)的蒸餾、干燥、脫氣；

　　5、一般無油潔凈真空系統(tǒng)使用干式真空泵，防止油污。

　　干式真空泵分為許多不同類型的設(shè)備，以滿足不同的使用要求。在各個方面，下面將介紹如何正確選擇它們。

　　干式真空泵，我們總渴望能夠減小其物理尺寸。但這與真空泵的抽吸速度相矛盾，干式真空泵的抽吸速度與容積是成正比的。物理尺寸小，就意味著容積也小，當(dāng)然影響干式真空泵抽吸速度的還有一個重要因素就是速度。要想讓小型真空泵的抽吸速度與大型真空泵的抽吸速度相匹配，就需要提升速度。改變干式真空泵轉(zhuǎn)速的方法有兩種，一種是改動電源的頻率，也就是用變頻器；另一種是改變變速器的傳動比。其中，用變頻器的好處是可以提供閉環(huán)控制，但在重負(fù)荷時很容易造成轉(zhuǎn)矩?fù)p失。改變變速器的傳動比是一種很經(jīng)濟(jì)的方法，當(dāng)然只能提供單速，不能控制。

　　干式真空泵的錯誤會降低機(jī)器效率，影響晶圓生產(chǎn)和交付，乃至?xí)�造成晶圓廢棄物和別的零部件的加工損壞。因?yàn)槁輻U設(shè)計選用單級設(shè)計，所應(yīng)用的零部件數(shù)與滾珠槽、爪形、組合等多級泵對比可降低60%。這針對干式真空泵的平穩(wěn)性和將來的維護(hù)保養(yǎng)費(fèi)用而言是挺大的優(yōu)點(diǎn)。

　　一般來說，內(nèi)壓螺絲干式真空泵的選擇可能是一個很好的選擇，如果用戶覺得功耗對他來說很重要，氮含量對他來說也不重要。但總的來說，對廢氣處理的要求越來越嚴(yán)格，以后減少氮的使用尤為重要。如果你想處理各種半導(dǎo)體工藝而不使用簡單的庫存控制泵來改變它們，外壓縮螺絲干式真空泵是一個不錯的選擇。

　　結(jié)合以上所有設(shè)計類型的優(yōu)勢是理想的，具體要看具體情況，但目前還是不可能的。所以用戶需要了解干式真空泵的設(shè)計類型，再根據(jù)自己的工藝特點(diǎn)了解不同類型泵設(shè)計的效果。這樣的選擇可以降低干式真空泵的使用成本，獲得更長的使用壽命和穩(wěn)定的真空系統(tǒng)。